Исследование влияния количества модулей многокластерного технологического комплекса и выполняемые ими операции на общую производительность установки с использованием имитационного моделирования

Бесплатный доступ

Вариативность компоновок кластерного оборудования обусловливает разработку методов, направленных на анализ и поиск возможных схем компоновок, которые отвечают заданным требованиям и критерию оптимальности производительности. Достаточно часто на производстве сталкиваются с задачей наиболее оптимальной утилизации кластерного оборудования. Для нахождения решений используют различные подходы, такие как: запуск в систему нескольких потоков полуфабрикатов, увеличение числа рабочих лап робота в транспортном модуле и т. д. В данной работе исследован многокластерный технологический комплекс, зависимость производительности МТК от количества выполняемых операций наименее загруженного модуля. Показано, что с помощью данного подхода можно существенно упростить нахождение решения задачи построения кластерной установки при наличии потоков пластин двух типов, а также нахождения графика запуска для максимальной и минимальной производительности. Актуальность работы обусловлена необходимостью нахождения наиболее оптимального варианта компоновки многокластерного комплекса и графика запуска полуфабрикатов (с учетом вариативности выполняемых операций в модулях) как на этапе проектирования установки, так и при эксплуатации уже существующих установок.

Еще

Полупроводниковое производство, многокластерный технологический комплекс, структурные схемы полуфабрикатов, график запуска полуфабрикатов

Короткий адрес: https://readera.ru/140238552

IDR: 140238552   |   DOI: 10.20914/2310-1202-2018-2-119-124

Список литературы Исследование влияния количества модулей многокластерного технологического комплекса и выполняемые ими операции на общую производительность установки с использованием имитационного моделирования

  • Куликов И.Н. Автоматизированное формиро-вание структур мультикластерных технологических комплексов//Теоретические и прикладные аспекты современной науки. 2014. № 2-1. С. 63-73
  • Куликов И.Н., Рябов В.Т., Шубников А.В. Имитационное моделирование кластерного технологи-ческого оборудования в полупроводниковом производстве//Наноинженерия. 2013. № 9 (27). С. 3-6
  • Куликов И.Н. Имитационное моделирование управления потоками полуфабрикатов в много-кластерном технологическом комплексе. образование//Наука. научные кадры. 2015. №: 5. С. 271-275
  • Perkinson T., McLarty P., Gyurcsik R., Cavin R. Single-Wafer Cluster Tool Performance: An Analysis of Throughput//IEEE Trans. Semiconduct. Manufact. 1994. V. 7. № 3. Р. 369-373.
  • Pederson D., Trout C. Demonstrated Benefits of Cluster Tool Simulation//Proc. Int. Conf. Modeling and Analysis Semicond. Manuf. Tempe. AZ. 2002. Р. 84-89.
Статья научная